ULVAC ei-5z系列電子束真空蒸發鍍金儀是一款可同時安裝電子束蒸發和熱蒸發源的多功能蒸發臺，可用于各種金屬、合金、非金屬蒸發鍍膜，可做垂直入射蒸發工藝，可做穿墻式設計，采用全自動控制，穩定，高效。

高真空環境：提供高純度膜層，適用于高精度研究和少量生產。
多種材料蒸發：支持金屬、ITO、二氧化硅等多種材料的蒸發，應用廣泛。

ULVAC ei-5z系列電子束真空蒸發鍍金儀主要技術參數：

·適用于2-8inch各種形狀的Si、GaAs、玻璃陶瓷等基板；

·采用低空泵，可在20min內達到3.0*10-4Pa，極限壓強可達3.0*10-5Pa或更低；

·采用電子束或熱蒸發源，擋板共用；

·膜厚均勻性好于±5%；